M5, Hvězdicový snímač, přímý, kulička z nitridu křemíku, dřík z karbidu wolframu

Hvězdicové snímače se skládají ze snímačů uspořádaných do tvaru hvězdy a umožňují měření v různých souřadných směrech. Zatímco snímání bočních ploch pomocí jednotlivých sférických snímačů je možné jen omezeně, hvězdicový snímač umožňuje zvolit pro snímání vždy ten snímač, který je kolmo k měřenému povrchu.

Karbid wolframu je nejběžnější materiál pro dříky – kombinuje velmi dobrou tuhost s přijatelnou tepelnou roztažností. Jedinou nevýhodou může být jeho hmotnost při použití větších snímačů. Přímý dřík je nejjednodušší konstrukce snímače a umožňuje nejdelší využitelnou délku měření, protože celý dřík lze využít pro měření. Dříky z karbidu wolframu tak představují dobrý kompromis mezi hmotností, tuhostí a tepelnou roztažností.

Snímače s kuličkou z nitridu křemíku jsou univerzálně použitelné stejně jako ty s rubínem. Při skenování hliníku nebo jiných měkkých materiálů však vykazují nižší náchylnost k usazování materiálu. To však neznamená, že k usazování nedochází vůbec – u kuliček ze Si₃N₄ se tento efekt objevuje až později v průběhu měření. Díky téměř identické tvrdosti ve srovnání s rubínem jsou ale stejně náchylné k opotřebení při měření tvrdých a abrazivních povrchů.